なぜ金メッキされた反射器がウェーハにとって重要なのか
半導体製造の世界では、エネルギーを無駄にすることは、まるでお金を捨てるようなものです。それによって生産効率が低下してしまいます。だからこそ、私たちはIRランプに金メッキされた反射器を使用するのです。熱が背面に漏れ出るのを防ぎ、必要な場所、つまりウェーハの表面に直接熱を当てるのです。
金の利点
多くの人々はアルミニウムを使い始めますが、問題は、長波長や中波長のIR光に対してはアルミニウムでは不十分だということです。アルミニウムは過剰にエネルギーを吸収してしまいます。
一方、金は違います。薄い層を塗ることで、エネルギーをより効率的に反射させることができます。その結果、より多くのワット数の熱が目的の場所に届き、機械の筐体が過度に加熱されることがありません。つまり、普通のランプを精密な加熱ツールに変えるわけです。
パワー密度に注意する
これらのランプを選ぶ際には、ワット数と表面積の比率に注意する必要があります。高出力のランプは、ごく狭いスペースに大量のエネルギーを集中させます。それによって激しい熱が発生します。もし冷却システムがその熱を処理できなければ、問題が発生します。実際、熱が逃げ場を失ったために、ランプのソケットや配線が破壊されることもあります。
機械内で正しく設置する
これらのランプは、既存のIRアレイの簡単な交換用として設計されています。しかし、本当に重要なのは焦点位置です。私たちは、熱がウェーハ全体に均等に分布するように細心の注意を払います。もしランプの位置が数ミリでもずれてしまうと、 hot spotが生じます。そして、hot spotはすべてを台無しにしてしまいます。
最後に：必ず手袋を着用してください
金メッキは非常に敏感です。技術者が素手で反射器に触れると、皮膚から出る油分が、一度温められると金に焼き付いてしまいます。そうすると永久的な暗い斑点ができてしまいます。その斑点は反射機能を失い、逆に熱を吸収するようになります。これによりランプの寿命が短くなり、熱の均一性も乱れてしまいます。必ず手袋を着用してください。これは小さな工夫ですが、大きなトラブルを避けるためには不可欠です。