セル室の壁面を加熱するのはやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 半導体ウェーハを加熱するとき、重要なのは、エネルギーが基板上に届くことです。装置の外殻にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的なIRランプでは熱が360度全方位に放散されるため、制御が難しいという点です。狭い空間で作業...

なぜバスルーム用ヒーターはいつも故障するのか（そしてその対処法） 昔ながらのバスルーム用ランプ型ヒーターは、一番必要な時に限って壊れてしまうことが多いですよね。それは、実際には密封されていない単純なハロゲン管を使用しているからです。蒸気や湿気が満ちた部屋では、これは大変な問題になります。 だからこ...