レーザーダイシング用ウェーハサポートヒーター

ファブフロアにおけるレーザーダイシングは、ウェハの熱予算が変動し始めると問題が発生する。フォトレジスト残渣、微細クラック、エッジチッピングの多くは、同一の原因に起因している：ダイシングサポート下でのウェハの不安定かつ不均一な加熱である。アクティブエリア全体で±0.1℃以内の温度を維持し、かつライン...