クラス100のクリーンルームを実際にきれいな状態に保つためには、どうすればよいのでしょうか？
クラス100の環境で作業を行うとき、加熱というのは、どれだけ多くの電力を部品に与えるかということではありません。重要なのは、何を与えないかということです。
一般的な加熱素子は、このような環境では使えません。それらはガスや目に見えない微小な粒子を放出し、シリコンウェハーや医療用インプラントを破壊してしまいます。そのため、私たちは高純度の融成石英を使用した赤外線ランプを利用しています。
なぜ石英が重要なのか
天然のシリカには不純物が多すぎるため、合成された融成石英を使用します。もし通常のガラスを使った場合、急速な温度変化によってすぐに割れてしまうでしょう。
一方、石英は安定しており、剥がれ落ちることもありません。
ランプの内部には、フィラメントが蒸発するのを防ぐためのハロゲンサイクルがあります。これにより、内壁に黒い煤が付着することはありません。このサイクルのおかげで、ランプは数千時間にわたって透明な状態を維持できます。また、「ガラスの雨」や異物が生産ラインに入ってくる心配もありません。
知っておくべき妥協点
使用可能なスペースに応じて、ワット数や電圧を自由に組み合わせることができます。
高ワット数の短波長ランプを使用すると、温度上昇速度が非常に速くなります。これは生産効率を大幅に向上させますが、デメリットもあります。
そのような高い熱密度は、配線やホルダーに大きな負担をかけます。もし2000W以上のランプを使用する場合、耐久性の高いセラミックを使わないと、筐体が溶けてしまう可能性があります。
安全を確保するために、精密に仕上げられたコネクタを使用します。これにより、外部からの空気や内部の物質がクリーンゾーンに入ってくるのを防ぎます。
実際の利用方法
最良の点は、これらのランプは古くて使いにくい抵抗式ヒーターの代わりに使えるということです。
これらのランプは、周囲の空気を温めるのではなく、部品自体を直接加熱します。これにより、空調システムの負担が軽減されます。
ちなみに、反射板は研磨されたアルミニウムや金メッキ加工されている必要があります。そうでない場合、出力の30％が無駄になってしまいます。これは簡単に解決できる問題であり、大きな効果が得られます。