CIGS太陽電池加工ヒーター

ライン上でのCIGS太陽電池の歩留まりは、ひとつの要素に帰着する：シフトごとに安定して信頼できる熱制御だ。フォトレジストのベークや基板の乾燥時に数度の温度変動があるだけで、重要な寸法がずれたり、さらに悪化すると、層間剥離の原因となる水分を閉じ込めてしまう。このプロセスでは、許容誤差はナノメートル単...