なぜ赤外線がスマートファブを加熱する唯一の方法なのか
現代のスマートファブを構築するにあたって、古い方式の対流式オーブンに頼ってはいけません。そうしたオーブンではもはや十分ではありません。私たちは高効率な赤外線システムを採用しています。これにより、空気を温める手間がなくなり、エネルギーが直接部品に届けられます。
これこそが、クリーンルームを本当に清潔に保つ唯一の方法です。
正確なデータの取得
データ駆動型の工場では、加熱要素が温まるのを待つのは時間がかかりすぎます。その「温度遅延」は大きな問題です。しかし赤外線は違います。ほぼ瞬時に加熱できます。
このシステムをPLC回路に直接接続すれば、即座に出力を調整することができます。また、各ウェーハや基板がどれだけのエネルギーを消費しているかも正確に把握できます。急いで温度を上げる必要がある場合、これが最適な方法です。
粉塵の低減
クリーンルームでは、乱流は許されません。強制送風式オーブンは、実質的に巨大な粒子吹き出し装置であり、ISO規格を維持する上では避けるべきものです。
赤外線ヒーターは空気を動かしません。単にそこにあって加熱を行うだけです。また、狭いスペースに多くの熱を集中させることができるため、設備が床面積の半分を占めることもありません。特定の波長にエネルギーを集中させるため、オーブンの壁ではなく製品自体が加熱されます。これはずっと合理的な方法です。
実際の課題
もちろん、全てが理想的というわけではありません。高密度の赤外線は、電力供給系統に大きな負担をかけます。高ワット数の装置を使用する場合は、電気盤がその負荷に耐えられるか確認する必要があります。そうでなければ、大変なことになります。
また、温度の上昇を抑える必要もあります。PID調整が不適切だと、基板が破損してしまいます。これを防ぐために、常に閉ループ型の温度計を使用することをお勧めします。これが安全網となります。
配線に関しては、耐熱性の高いコネクタを選ぶことが重要です。安価なコネクタは劣化して故障してしまいます。
しかし、一度配線が完了すれば、メンテナンスは非常に簡単です。ファンが壊れたり、フィルターを交換したりする必要もありません。これは、より効率的で静かな作業方法です。