なぜIRヒーターは繰り返し短絡するのか（そして、実際にどう修理すればいいのか） ほとんどのIRヒーターに共通しているのは、同じ場所で故障するということです。つまり、フィラメントと外部配線が接続されている部分です。 ヒーターを限界まで使うと、内部のフィラメントと外部配線が接続されている部分が熱的に大...

セル室の壁面を加熱するのはやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 半導体ウェーハを加熱するとき、重要なのは、エネルギーが基板上に届くことです。装置の外殻にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的なIRランプでは熱が360度全方位に放散されるため、制御が難しいという点です。狭い空間で作業...

リソグラフィーの工程では、インターポーザを加熱する際に0.1℃の温度変動があっても、それだけで重要な寸法制御が崩れてしまい、無駄にフォトレジストが廃棄されてしまいます。より多くの電力を使うことは解決策ではありません。必要なのは、繰り返し使用しても信頼できる、制御可能な熱源です。 内部で何が重要か...