省エネ型ウェーハヒーター

ガラスの破片からウェーハを守る：チューブの破裂を防ぐために 高負荷の半導体製造環境では、赤外線ランプが壊れると、単なる生産停止にとどまらず、大きな問題につながります。 石英チューブが壊れると、機能しなくなるだけでなく、ウェーハの表面に微細なガラスの破片や化学物質が付着してしまいます。これは大変な問...