赤外線ウェーハヒータランプのコスト

リソグラフィ工程では、時間を分単位で測るのではなく、歩留まりで測る。ウェハーがトラックに載り、レジストが塗布され、ソフトベイクはライン幅変動を規格内に収めるために、非常に厳密な時間枠内で目標通りに行う必要がある。焼成プロファイルがひとたびずれたり、ホットスポットが発生したりすると、ラインが徐々にず...