熱の無駄遣いをやめよう：ファブでの乾燥処理を効率的に行うための新しい方法 もし、スマートなファブを構築しようと考えているのであれば、従来の方法――つまり、熱風を吹きかけるだけの方法――ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。乾燥処理にかかるエネルギーコストを見てみると、多くの無駄があるこ...

MEMSウェーハを効果的に乾燥させる方法 もし、MEMSセンサーのウェーハの処理を経験したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。わずかな水分や、乾燥時の過度な機械的ストレスがあるだけで、全てのウェーハが台無しになってしまいます。熱が必要ですが、正確に制御する必要があります。 だからこそ、私...

ファブフロアでは、単一の水跡がウエハーを殺すのに十分です。標準的な乾燥では熱勾配が残り、その勾配が湿気を閉じ込めます。これにより、フォトレジストの接着が失敗し、歩留まりが影響を受けます。私たちは、この変動を排除するためにハロゲンIRエミッターを開発しました。 実際に重要なこと エミッターは短波ハロ...