熱の無駄遣いをやめよう：ファブでの乾燥処理を効率的に行うための新しい方法
もし、スマートなファブを構築しようと考えているのであれば、従来の方法――つまり、熱風を吹きかけるだけの方法――ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。乾燥処理にかかるエネルギーコストを見てみると、多くの無駄があることがわかります。
重要なのは、対流に頼るのではなく、目的の場所に直接熱を与えるための赤外線加熱を利用することです。これにより、熱を正確に必要な場所に送ることができます。
正確なデータの取得
重要なのは、計測しなければ問題点を解決できないということです。
私たちは、PIDコントローラーを使って、高効率な赤外線放射体をPLCシステムに直結させています。これにより、消費電力や表面温度をリアルタイムで監視できます。ウェハや基板がちゃんと乾いているかどうかを祈る代わりに、サーマルセンサーがその状態を教えてくれます。ワット数を即座に調整できるので、もう推測する必要はありません。
物理的原理（簡単に説明すると）
赤外線は放射によって作用します。つまり、空気の流れを利用する必要はありません。
そのため、巨大で騒音の大きい送風機や複雑なダクト系統は不要になります。しかし、波長には注意が必要です。短波長の赤外線は材料の内部まで熱を届けますが、中波長の赤外線は表面に留まります。
間違った波長を選ぶと、製品が冷たいままで、チャンバーの壁だけが熱くなってしまいます。それは無駄な出費です。
知っておくべきトレードオフ
高密度の赤外線アレイは非常に速いです。ほんとうに速いのです。数秒で目標の温度に到達します。
しかし、その速さには代償があります。起動時には大きな電流が流れるため、電気設備がそれに対応できる必要があります。また、ランプのケースにも冷却装置を設置する必要があります。そうしないと、近くにある敏感な電子機器が壊れてしまうかもしれません。
最良の点は、赤外線を使えばモジュール式のシステムを構築できることです。ファブが拡張されても、追加で加熱ゾーンを増やすだけで済みます。全てを分解して再設計する必要はありません。