熱を本来あるべき場所に送るために：アルミニウム反射板の真実 スマートファブでは、熱というのはまるで手に負えない存在です。適切に制御しなければ、熱はあちこちに広がってしまい、通常は本来あるべきでない場所、つまり機械の筐体の中に入ってしまいます。だからこそ、高純度のアルミニウム反射板を使用するのです。...

なぜ、その小さなセラミック製のエンドキャップが重要なのか IRエミッターに取り付けられているセラミック製のエンドキャップについて話しましょう。一見すると、単なるプラグのように見えます。しかし実際には、それがタングステンフィラメントと完全な電気的短絡を防ぐ唯一の障壁なのです。 高ワット数の電力を供給...

化学処理を行う際、一般的には揮発性が高く、言ってしまえば可燃性のある化学薬品を扱います。そこに高輝度の赤外線ランプを加えると、災害が起きる可能性があります。誰もが望まないのは、製造過程の最中に火災が発生することです。 それを防ぐために、私たちはオープン型の構造を使わず、すべてを封入するようにしてい...

ファブフロアでは、単一の水跡がウエハーを殺すのに十分です。標準的な乾燥では熱勾配が残り、その勾配が湿気を閉じ込めます。これにより、フォトレジストの接着が失敗し、歩留まりが影響を受けます。私たちは、この変動を排除するためにハロゲンIRエミッターを開発しました。 実際に重要なこと エミッターは短波ハロ...