インターポーザー加熱用赤外線ランプ

リソグラフィーの工程では、インターポーザを加熱する際に0.1℃の温度変動があっても、それだけで重要な寸法制御が崩れてしまい、無駄にフォトレジストが廃棄されてしまいます。より多くの電力を使うことは解決策ではありません。必要なのは、繰り返し使用しても信頼できる、制御可能な熱源です。 内部で何が重要か...