スマートファブで熱を有効活用するには
もしスマートファブを導入しようとしているのであれば、従来の方法では熱の扱いがうまくいかないことに気づいているはずです。古い方式の対流式オーブンは遅く、加熱するのに時間がかかります。また、デジタル的にその状態を監視するのも大変です。
そのため、私たちは赤外線システムを利用しています。赤外線は部屋全体を温めるのではなく、必要な場所だけを正確に加熱します。これにより、デジタルワークフローにも簡単に組み込むことができます。
あなたの指示に応じて動く熱
スマートファブでは、単に設定を行って放置するだけでは不十分です。今何が起きているかを把握する必要があります。赤外線は放射を利用するため、PLCを通じて即座に出力を調整できます。巨大なチャンバーで熱を待つ必要はありません。ウェーハがセンサーに触れる瞬間に合わせて加熱を行うことができます。デジタルツインを作成する際には、この方法が最適です。応答速度が非常に速く、フィードバックループがうまく機能します。
スペースとHVACの節約
赤外線ランプは、大型の強制送風式システムに比べて、はるかに少ないスペースを占有します。ゾーニングされた配列で設置できるため、クリーンルームの設備もコンパクトに保てます。通常、私たちは短波および中波のエミッターを使用します。なぜかというと、空気を温めるだけでなく、材料自体に熱を与えるからです。そうすれば、HVACシステムに余分な負担がかからず、感謝されるでしょう。
現実的な課題
もちろん、全てが完璧というわけではありません。いくつかの取引条件があります。高密度の赤外線アレイは大量の電力を消費します。古い電気盤に接続してもうまくいくわけではありません。温度が過剰に上がらないように、専用の高電流回路や優れたPIDコントローラーが必要です。また、冷却ファンが故障したり、センサーに問題が生じたりすると、赤外線によって急激に高温になり、一連の工程が台無しになる可能性があります。そのため、チャassisから反射される熱に対応できる冷却システムを設計する必要があります。さもなければ、自分の電子機器が破壊されてしまいます。