ウェーハの硬化処理中にランプが故障する心配はもうしなくて済みます。
高圧環境下でランプが故障すると、それは大惨事です。単に停止時間が長くなるだけではありません。もし赤外線ランプがウェーハの上で破裂したら、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱してしまいます。一度でも故障すれば、大量のウェーハがダメになってしまいます。
私たちは、そういうことが起こらないように、特別なIR硬化ランプを開発しました。
ガラスを適切な場所に保つ
まず、高純度の融成石英を使用します。これは非常に頑丈で、急激な加熱・冷却にも耐えられます。安価な素材よりもはるかに優れています。
しかし、それだけではありません。ランプの周囲に保護用のケースや特別なコーティングを施しています。これはまるで安全網のようなものです。フィラメントが故障してランプが破裂しても、破片はケースの中に留まり、ウェーハに落ちることはありません。
また、タングステンの問題もあります。タングステンが壁面に付着すると、熱点が生じます。その熱点がストレスを引き起こし、結果として亀裂が生じます。私たちは内部のハロゲンサイクルを調整して、バランスを保っています。そうすれば、熱が均等に分散され、圧力によってランプが壊れることはありません。
電力、熱、そして実際の運用
電圧の急変は、ほとんどの工場で問題を引き起こします。それによってランプが早期に故障してしまいます。私たちは電圧の許容範囲を厳格に設定し、接続部がしっかりと固定されているようにしています。そうすれば、接触抵抗や過熱の心配もありません。
ただし、高い熱密度は良い点ですが、同時に大きな負担も伴います。最大出力で動作させる場合、冷却装置が十分に機能しなければなりません。空気の流れが悪くなると、筐体が過熱し、電子機器が早く壊れてしまいます。ファンの状態には常に注意が必要です。
工場内での設置
これらのランプは、「そのまま使える」ように設計されています。サイズが既存の硬化ラックと一致しているため、システム全体を再配線する必要はありません。
石英の化学的性質や物理的な保護機能に重点を置くことで、ランプが故障しても慌てる必要はありません。すぐに作業を再開できます。