工業用ウェーハヒーター工場

ファブ内では、焼成というのは単なる温度の問題ではありません。実際にパターンを形成するのは、熱的なバランスです。もし低温または高温で焼成が行われると、直ちに寸法管理が困難になり、さらには汚染や再作業、生産効率の低下が起こります。私たちは、ウェーハ全体にわたって±0.1℃の精度で熱的均一性を維持できる...