ファブ内の二酸化炭素排出を削減する：なぜ赤外線加熱が効果的なのか 半導体工場でカーボンニュートラルを実現しようとすると、通常、2つの大きな問題に直面します。それは、無駄になる熱と、莫大な電力代です。 私たちの多くは、抵抗式のヒーターを使っていますが、これらは非効率的です。まず空気が温まり、その後チ...

熱の無駄遣いをやめよう：ファブでの乾燥処理を効率的に行うための新しい方法 もし、スマートなファブを構築しようと考えているのであれば、従来の方法――つまり、熱風を吹きかけるだけの方法――ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。乾燥処理にかかるエネルギーコストを見てみると、多くの無駄があるこ...

ガラスの破片からウェーハを守る：チューブの破裂を防ぐために 高負荷の半導体製造環境では、赤外線ランプが壊れると、単なる生産停止にとどまらず、大きな問題につながります。 石英チューブが壊れると、機能しなくなるだけでなく、ウェーハの表面に微細なガラスの破片や化学物質が付着してしまいます。これは大変な問...