半洗浄段階でのエネルギー漏れを防ぐ
正直に言って、ウェーハを乾燥させるためだけに大量の空気を加熱するのは無駄です。まるで、コーヒー1杯を温めるために家全体を温めるようなものです。従来の対流式や抵抗式の加熱装置は、エネルギーを無駄に部屋中に放出してしまいます。
そのため、私たちは防水機能付きの赤外線ランプを採用しています。このランプは空気を温める代わりに、ウェーハの表面直接に熱を当てます。これは、より効率的な加熱方法です。
二酸化炭素排出量とコストの削減
「グリーンファクトリー」という目標を達成したいのであれば、どこにエネルギーが使われているかを把握する必要があります。従来のオーブンでは、エネルギーがあちこちに散逸してしまいます。エネルギーを必要な場所に集中させることで、1枚のウェーハあたりに必要なキロワット時数を大幅に削減できます。
また、システムが起動するのを待ったり、アイドル状態でエネルギーを無駄に消費したりする必要もありません。すぐに動作します。そうすれば、二酸化炭素排出量が減り、効率も上がります。まさに一石二鳥です。
汚れの問題への対処
洗浄段階では、湿度が高く、化学物質の蒸気や水分が至る所にあります。通常の石英管を使うと、短絡したり酸化したりしてしまいます。
これを防ぐために、このランプは特殊な防水ケースに収められており、湿気に強い端子が使われています。水が入らず、早期の故障も起こりません。信頼性の高い加熱が実現されます。
使用する化学物質に応じて、短波または中波の赤外線が適しています。短波は水分層を速く貫通できるため、ウェーハが短時間で乾燥します。
注意点
しかし、これは「つないで放置するだけ」という単純なものではありません。高密度の赤外線は大量の局所的な熱を発生させます。冷却ファンやヒートシンクを適切に設置しなければ、問題が発生します。ランプのケースが過度に熱くなってしまうと、プロセスセンサーの精度が低下してしまいます。
ヒントとしては、閉ループPIDコントローラを使用しましょう。これにより、ウェーハが焼けてしまうことを防げます。また、電源供給が安定していることも重要です。電圧の急変によって石英管が破損する可能性がありますが、配線や冷却システムを適切に整えれば、この問題も解決されます。