ウェーハツール用温度センサー

高負荷ウェーハ処理装置における致命的な故障の防止 一度だけライトが消えてしまうと、その瞬間に全体の処理が危険にさらされますよね？高負荷のウェーハ処理では、ライトが壊れるだけでなく、チャンバー内に汚染物質が混入し、全体的な処理がダメになってしまいます。 私たちは、このような悲劇が起こる前にそれを防ぐ...