クリーンルーム内での輸送用カートが十分に温まるのを待つのはやめましょう。半導体の精密加工に携わったことがある人なら、「待つ」という作業の苦しさを知っているはずです。ウェーハやキャリアは、次の工程に進む前に一定の温度に達していなければなりませんが、その輸送過程で時間がかかってしまいます。 私が訪れた...

クラス100のクリーンルームを実際にきれいな状態に保つためには、どうすればよいのでしょうか？ クラス100の環境で作業を行うとき、加熱というのは、どれだけ多くの電力を部品に与えるかということではありません。重要なのは、何を与えないかということです。 一般的な加熱素子は、このような環境では使えません...