ウェーハ用高精度IRセンサー

化学処理を行う際、一般的には揮発性が高く、言ってしまえば可燃性のある化学薬品を扱います。そこに高輝度の赤外線ランプを加えると、災害が起きる可能性があります。誰もが望まないのは、製造過程の最中に火災が発生することです。 それを防ぐために、私たちはオープン型の構造を使わず、すべてを封入するようにしてい...