MEMSウェーハを効果的に乾燥させる方法 もし、MEMSセンサーのウェーハの処理を経験したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。わずかな水分や、乾燥時の過度な機械的ストレスがあるだけで、全てのウェーハが台無しになってしまいます。熱が必要ですが、正確に制御する必要があります。 だからこそ、私...

スマートファブで正確な熱データを得るには スマートファブを構築する際、単に「熱を加える」だけでは不十分だと気づいているはずです。実際に何が起こっているのかを把握し、その熱を利用可能なデータに変換する方法が必要です。そこで役立つのが赤外線（IR）システムです。これにより、接触せずにプロセスを監視でき...

化学処理を行う際、一般的には揮発性が高く、言ってしまえば可燃性のある化学薬品を扱います。そこに高輝度の赤外線ランプを加えると、災害が起きる可能性があります。誰もが望まないのは、製造過程の最中に火災が発生することです。 それを防ぐために、私たちはオープン型の構造を使わず、すべてを封入するようにしてい...

赤外線ハロゲンヒーター：センサーの硬化処理における見えない英雄 私たちが水素センサーの製造に使用するヒーターは、短波長の赤外線ハロゲン技術を基盤としています。なぜかというと、半導体製造プロセスにおいて、無鉛で環境に優しい乾燥処理を実現できるからです。要点は簡単です。必要な場所に迅速に強力な熱を与え...

高負荷ウェーハ処理装置における致命的な故障の防止 一度だけライトが消えてしまうと、その瞬間に全体の処理が危険にさらされますよね？高負荷のウェーハ処理では、ライトが壊れるだけでなく、チャンバー内に汚染物質が混入し、全体的な処理がダメになってしまいます。 私たちは、このような悲劇が起こる前にそれを防ぐ...