なぜ、無鉛半導体の製造には金コーティングされた赤外線ランプが使われるのか？ 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の製品を目指す動きが活発です。理論上は素晴らしいことですが、実際の製造現場では大きな問題が生じます。従来の対流式オーブンは、空気やチャンバーの内壁を加熱するのに多くのエネルギーを消費してし...

化学的な洗浄工程で赤外線ヒーターを使用することは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、腐食性のある物質も存在します。そうした環境では、普通の石英管を使うと問題が起きやすくなります。 だからこそ、私たちは二重管構造で、表面に金をコーティングした装置を使用しています。これは...