ウェハバーンインテスト加熱ランプ

ライン上では、バーンインオーブンが休みなく稼働している。ウェーハは熱ストレスのために順番待ちし、その後次の工程へ移る。加熱ランプに遅れが生じれば、ステーション全体が停止する。温度がずれれば歩留まりに影響が出る。バーンインにおいて、ランプは単なる部品ではなく、熱の要となる存在である。 このウェーハバ...