半導体クリーンルーム用トロリーサーマルヒーター

クリーンルーム内での輸送用カートが十分に温まるのを待つのはやめましょう。半導体の精密加工に携わったことがある人なら、「待つ」という作業の苦しさを知っているはずです。ウェーハやキャリアは、次の工程に進む前に一定の温度に達していなければなりませんが、その輸送過程で時間がかかってしまいます。 私が訪れた...