不安定な状況下でのIRヒーターの安全な使用法
半導体の化学的清掃を行っている方なら、ご存知の通り、そこには可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が至る所に漂っています。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具というだけでなく、危険因子ともなり得ます。わずかな火花やシール部分の破損だけで、大惨事につながりかねません。
私たちは、そのような事態を防ぐ方法を見つけました。それは、配線やシーリングの処理方法にかかっています。
なぜテフロンを使用するのか
ほとんどの配線にはPVCやシリコンが使われています。これらはリビングルームなら問題ありませんが、化学薬品がある環境では、すぐに溶けたり劣化したりしてしまいます。
私たちは、代わりにPTFE（テフロン）を使用しています。PTFEは260℃までの高温にも耐えられ、工業用化学薬品にも強いです。ひび割れたり剥がれたりすることもありません。つまり、化学薬品の蒸気が絶縁体を侵食し、短絡を引き起こす心配がないのです。
隙間をしっかり閉じる
最も危険なのは、配線が石英管に接する部分です。そこが破損しやすい場所です。
これを解決するために、高品質のポッティング化合物や熱収縮性のあるテフロンスリーブを使用して、すべてをしっかりと固定します。そうすることで、密閉された環境が作られ、化学薬品の蒸気が配線を通ってランプ内に入るのを防ぎます。つまり、電流と化学薬品の蒸気の間に壁を作るのです。
熱に関する注意点
ただし、テフロンは優れた絶縁体ですが、ランプを長時間フルパワーで動かすと、シール部分に熱が溜まってしまいます。
そのため、エアフローや冷却装置を確認する必要があります。絶対にPTFEの耐熱限界を超えないようにしてください。
実際の現場での様子
実際にこれらのヒーターを半導体処理装置に取り付けてみると、テフロンのコーティングのおかげで配線の配置が非常に簡単になります。配線を狭い場所に隠しても、摩擦やほつれの心配がありません。
結果として、化学薬品の蒸気がある環境でも、故障や火花が発生しない、信頼性の高いヒーターができます。これは、危険な環境での不安を解消する簡単な方法です。