工業用ヒーターを真の意味でスマートにする方法 天井が高い工場で暖房を行う際の苦労は、ご存知の通りです。強力な送風機能を使っても、その温かさはすぐに天井まで上がってしまい、床で作業する人々には全く届きません。これはお金の無駄であり、面倒な問題です。 そこで、私たちは赤外線ヒーターを使用します。空気と...

浴室用の放射暖房機を危険なものにしないための対策 浴室に放射暖房機を設置するということは、実質的には蒸気と戦うことに他なりません。水蒸気が極めて高温のケイ素管に当たるわけですから、問題が発生しやすくなります。もし断熱処理が不十分だと、短絡や接地故障が起こりかねません。これでは良い朝のスタートにはな...

ファブ内では、焼成というのは単なる温度の問題ではありません。実際にパターンを形成するのは、熱的なバランスです。もし低温または高温で焼成が行われると、直ちに寸法管理が困難になり、さらには汚染や再作業、生産効率の低下が起こります。私たちは、ウェーハ全体にわたって±0.1℃の精度で熱的均一性を維持できる...