激光晶圆切割支撑加热器

在晶圆制造车间，当晶圆的热预算开始漂移时，激光切割过程会出现问题。光刻胶残留、微裂纹、边缘崩裂——大多数问题都源于同一个根本原因：切割支撑下晶圆加热不稳定且不均匀。您需要一款能在活动区域内将温度控制在±0.1℃范围内的加热器，并且在运行过程中不会向生产线引入颗粒。 技术关键点 我们设计的激光晶圆切...