中介层加热红外灯

在光刻过程中，当对中介层进行加热时，即使温度只有0.1℃的波动，也足以破坏对关键尺寸的控制，导致光刻胶报废。增加功率并非解决问题的办法。真正需要的是能够精确控制且稳定的热量供应，这样才能保证每次加工的精度。 关键在于如何控制热量 我们设计的中介层加热灯采用了石英封装的短波近红外发射器，这种设计能够...