节能型半导体加热器

在半导体制造厂中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？ 如果想要实现半导体制造厂的碳中和目标，通常会面临两个大问题：能源浪费以及高昂的电力费用。 我们大多数人习惯使用电阻式炉子来加热。但这类炉子效率很低——它们先加热空气，再加热整个工艺室，最后才加热硅片。这就好比试图通过先加热整个街区来让房子变暖一...