MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何让MEMS晶圆在干燥过程中保持干燥状态,而不会出现问题?
如果您曾经处理过MEMS传感器晶圆,您就会明白其中的困难。哪怕只有一处水渍,或者在干燥过程中受到过大的机械压力,整个批次的产品都会受到影响。虽然需要加热,但必须精确控制加热的程度。
因此,我们选择使用短波红外线技术。与其浪费时间去加热整...
智能传感器封装红外技术
在智能工厂中准确获取温度数据
如果您正在建设智能工厂,那么您肯定已经意识到,仅仅“加热”是不够的。您需要一种方法来实时了解实际情况,并将热量转化为可用的数据。这时,红外技术就派上用场了。它能够以非接触的方式实时监控生产过程,而不会干扰正常操作。
数据的流动方式 在现实中,红外发射器会向工件表面发射...
用于晶圆的精密红外传感器
在化学环境中保护红外灯的安全 在清洗晶圆时,我们通常会接触到具有挥发性的化学物质,这些物质往往还是易燃的。如果再把高强度的红外灯加入其中,那就很容易引发灾难性后果。没人希望在生产过程中发生爆炸。
为避免这种情况,我们不再使用开放式设计的红外灯,而是将所有部件都封装起来。
防止火花产生 想象一下:哪...
氢气传感器制造用加热器
红外卤素加热器:传感器固化工艺中的隐形功臣
我们在制造氢气传感器时,采用了短波红外卤素技术作为加热手段。为何选择这种技术?因为它能够实现无铅、环保的干燥效果,非常适合半导体级生产工艺。其原理很简单:将高温直接传递到需要加热的位置,且不会影响整个生产流程。
强大的加热能力
这类红外卤素加热器的优势在...
晶圆加工设备用温度传感器
防止高负载晶圆处理设备出现灾难性故障
有没有过这样的经历:一盏灯损坏后,整个生产批次就面临风险?在高负载的晶圆处理过程中,灯管损坏不仅会毁掉相关组件,还会让杂质进入处理舱内,从而导致整批晶圆报废。
我们设计的红外线灯系统就是为了在问题发生之前就将其制止。这样,设备就能持续运转,晶圆也能保持清洁状态...