原子力显微镜 AFM 加热器
在晶圆厂车间,软烘烤和晶圆干燥是不能容忍偏差的工序。1℃的波动就可能导致关键尺寸偏移,且残留水分会直接引发缺陷。我们设计的AFM加热器能够稳定运行,满足先进晶圆加工所要求的热预算——日复一日。
核心技术要点
我们采用短波红外加热,封装于石英管内,因此响应迅速且温度稳定。烘烤区内晶圆级均匀性保持在...
大功率电加热器
介绍 直入主题。我们设计这些重型电加热器的唯一目的很简单:将强烈且集中的热量直接输送到强制空气无法覆盖的区域。
我们的新型卤素红外加热器并非用于加热空气,而是一个直接辐射的热源,专为商业冬季服务设计——适用于繁忙的露天餐饮环境。它聚焦于桌面上的冷点,提供客人实际感受到的温暖。
工作原理 该装置的核...