红外线晶圆加热灯的成本

在光刻车间，时间不是以分钟计量，而是以良率计量。晶圆进入工艺线，光刻胶被涂布，软烘烤必须在极为严格的时间窗口内完成，以确保线宽变化符合规格。若烘烤曲线偏移，或出现热点，线路尺寸就会偏移。热预算没有重来的机会。 关于红外晶圆加热灯的成本讨论，从未止步于采购订单层面。它包括报废批次的成本，批批追求均匀...