聚酰亚胺烘烤红外灯

在晶圆厂车间，聚酰亚胺烘烤不仅仅是另一个热处理步骤。它是达到规格和报废整批之间的界限。软烘烤或硬烘烤温度漂移2℃，就会直接影响关键尺寸控制和光刻胶层中的残余应力。我们设计红外灯时，是基于这一限制条件，而非与之对抗。 核心技术要点 该灯依赖短波红外直接快速将能量传递到聚酰亚胺中，而不会将周围硬件加热...