正确选择用于晶圆固化的红外反射器
在固化晶圆时，需要热量，而且这个热量必须精确控制。不过，不能简单地用高能量来加热基材，尤其是当我们需要保持工作环境的清洁和环保时。
因此，我们选择使用短波灯配合高反射率的红外反射器。这与对流式烤箱完全不同——对流式烤箱会加热整个腔室，而红外光源则直接作用于晶圆表面。
为什么反射器如此重要？
其实，单独使用固化灯的效率相当低。它会把能量向各个方向散发——360度无死角。如果没有反射器，那么一半的能量都会被浪费在加热设备本身上。这显然不是有效的能源利用方式。
我们设计的反射器能够捕捉那些被浪费的能量，并将其重新反射回晶圆上。这样就能提高热量密度，从而缩短加热时间。这样一来，每块晶圆所需的能量也就更少了。道理很简单。
关键细节：材料与热量
我们选择纯度极高的铝或镀金表面作为反射器材料，因为它们最擅长反射短波红外线。不过，反射器的几何结构也必须精确无误。如果角度有哪怕几毫米的偏差，就容易出现局部过热的情况。那样一来，晶圆的固化效果就会不均匀，甚至导致基材变形。
此外，还需要注意公差问题。这些灯具会产生极高的温度。如果反射器没有良好的散热设计，或者无法承受热膨胀带来的压力，它就会变形。一旦发生这种情况，焦点就会偏移，从而导致产量下降。
无铅化带来的好处与代价
采用红外固化技术确实是个不错的选择。这样一来，就可以不用再使用含铅的加热介质了。这是一种干净、无污染的加工方式。只要打开开关，就能立刻获得热量，而且不会产生任何污染物。
不过，这并非万能的解决方案。红外固化虽然精度很高，但它无法像对流式烤箱那样实现均匀的加热效果。因此，需要调整灯具与晶圆之间的距离，以及反射器的角度，以避免晶圆边缘过热。
最后提醒一下：如果在不调整焦距的情况下提高功率，就很容易导致局部过热。要想让一切达到最佳状态，还需要一些技巧。