无臭氧红外灯

防止碎片飞溅：使用无臭氧的红外灯来保持晶圆清洁 在高强度生产过程中，如果灯管发生破裂，那可不仅仅是“技术故障”那么简单——那简直就是一场灾难。一旦石英管出现裂纹，玻璃碎片和化学物质就会洒落在硅片上，整个批次的产品都报废了。这无疑是个巨大的损失，不过只要从一开始就设计好相关结构，就可以避免这种问题。...