避免在清洗阶段出现能量浪费
说实话，为了烘干晶圆而加热整个空间其实是一种浪费。这就好比为了加热一杯咖啡而把整个房子都加热起来一样。传统的对流式或电阻式加热系统只会将能量白白浪费在空气中。
因此，我们采用了防水型红外灯。这种灯不会加热空气，而是直接照射在晶圆表面。这是一种更有效的加热方式。
减少碳排放及成本
如果你想实现“绿色工厂”的目标，就必须了解能量究竟用在了哪里。传统烤箱会将热量散布到各个地方。而通过将能量精准地集中在需要的地方，就可以大大降低每块晶圆所需的能耗。此外，你也不必等待系统启动，或者让系统在空转时浪费能源。这样既减少了碳足迹，又提高了效率——真是双赢的局面。
解决潮湿问题
在清洗阶段，环境极其潮湿，到处都是化学蒸汽和水分。如果使用普通的石英管，它很快就会因为受潮而损坏。为了解决这个问题，我们会给这些灯配上专门的防水外壳以及防潮端子。这样就能避免水分进入，从而确保灯具的稳定性。
根据所使用的化学品类型，我们通常会选择短波或中波红外灯。短波红外灯的优势在于它能更快穿透潮湿层，从而使晶圆在更短的时间内干燥。
需要注意的问题
不过，这并不是那种“插上电源就能不管了”的设备。高密度红外灯会产生大量的局部热量。如果冷却风扇和散热装置不够完善，就可能会出现问题。你肯定不想因为灯体过热而导致传感器数据失真吧。
一个简单的建议是：使用闭环PID控制器。这样就能保持系统稳定，避免晶圆被烧坏。另外，还要确保电源稳定。电压波动可能会导致石英灯壳破裂，那可真是麻烦事。不过，一旦解决了线路和冷却问题，这种红外灯就能成为替代那些笨重加热装置的理想选择。