近红外 NIR 发射灯泡

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移就足以导致大量报废。你需要加热精确达到工艺卡要求的位置——每一次运行都如此。 关键技术指标 我们的NIR发射灯泡输出短波能量，响应迅速且光谱稳定，因此温度转换快速且可重复。在整个烘烤区，晶圆级均匀度维持在±0.1°C——这种控制水平能保护光刻的关键...