卤素红外发射器用于晶圆干燥

在生产车间，单个水迹足以毁掉一片晶圆。标准干燥会留下温度梯度，而这些梯度会捕获水分。这意味着光刻胶的附着力会下降，产量也会受到影响。我们开发了卤素红外发射器，以消除这种变异性。 实际重要的细节 该发射器依赖短波卤素石英灯，提供快速的直视红外线。在加热区域内，我们保持温度均匀性在±0.1°C以内，因...