正确选择用于晶圆固化的红外反射器 在固化晶圆时，需要热量，而且这个热量必须精确控制。不过，不能简单地用高能量来加热基材，尤其是当我们需要保持工作环境的清洁和环保时。 因此，我们选择使用短波灯配合高反射率的红外反射器。这与对流式烤箱完全不同——对流式烤箱会加热整个腔室，而红外光源则直接作用于晶圆表面...

将热量引导到正确的位置：关于铝制反射器的真相 在智能工厂中，热量就像一头难以控制的“野兽”。如果不对它进行有效控制，它就会四处扩散——通常会进入机器的机壳中，而那并不是它该去的地方。因此，我们才会使用高纯度的铝制反射器。它们就像镜子一样，能够将红外辐射反射回去，让热量直接作用于工件上，而不让热量散...

为什么镀金反射器对晶圆加工如此重要 在半导体加工领域，能量的损耗就如同浪费金钱一样。这会降低生产效率。因此，我们在红外灯上使用镀金反射器。这样，热量就不会从背面散发出去，而是直接照射到晶圆表面。 黄金的优势 大多数人最初会选择铝作为反射材料，但问题在于：对于长波和中等波长的红外线来说，铝的反射效率...