オゾンフリー赤外線ランプ

破片の発生を防ぐ：オゾンフリーのIRランプでウェーハをきれいに保つ 大量生産の際、ランプが壊れるというのは単なる「技術的なトラブル」ではありません。それはまさに悪夢です。 石英管にひびが入るだけで、ガラスの破片や化学物質がシリコンウェーハに降り注ぎます。そうなってしまうと、そのロット全体が無駄にな...