高負荷ウェーハ処理装置における致命的な故障の防止
一度だけライトが消えてしまうと、その瞬間に全体の処理が危険にさらされますよね？高負荷のウェーハ処理では、ライトが壊れるだけでなく、チャンバー内に汚染物質が混入し、全体的な処理がダメになってしまいます。
私たちは、このような悲劇が起こる前にそれを防ぐための赤外線ライトシステムを開発しました。これにより、装置は正常に動き続け、ウェーハも清潔な状態を保ちます。
電力、電圧、寸法：厳しい環境に耐える設計
ファブは24時間365日稼働しているため、電力供給が安定しているとは限りません。そのため、私たちはライトの電圧を400Vに設定しました。これにより、電圧の変動や急激な変化にも対応でき、熱によるストレスフラクチャーが発生するのを防ぎます。
300mmの長さと2500Wの出力も偶然ではありません。これは、迅速な温度制御のための十分な熱密度と、既存の装置に簡単に取り付けられるコンパクトさを両立させたものです。
材料とデザイン：重要な詳細
クォーツ製のケースにはコーティングが施されており、必要な場所にエネルギーを集中させ、周囲の部品への熱損失を減らします。また、このコーティングにより、プロセスで生じる副産物による化学的な腐食や破壊を防ぎます。
そしてR7sコネクタは、信頼性が高く、ライトをしっかりと固定します。高電流にも耐えられ、ホットスポットが発生しないため、取り付けも簡単です。
高い熱性能と信頼性——必要な時に
ウェーハ処理装置では、必要な時に適切な熱が得られることが重要です。このシステムは、安定した出力を持つ高い熱密度を提供するため、温度センサーの読み値が正確で再現性があります。
安全設計により、ライトが破裂するリスクが低減されるため、ガラス片やコーティングの破片がウェーハに当たる心配もありません。
しかし、2500Wの出力を実現するためには適切な冷却が必要です。冷却回路のサイズを適切に設計しないと、ライトの寿命が短くなってしまいます。
エンジニアにとっては、予期しない停止が少なくなり、迅速に交換が可能で、生産ラインが停滞することがありません。