ウェーハ加熱時の安全距離

セル室の壁面を加熱するのはやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 半導体ウェーハを加熱するとき、重要なのは、エネルギーが基板上に届くことです。装置の外殻にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的なIRランプでは熱が360度全方位に放散されるため、制御が難しいという点です。狭い空間で作業...