在化学环境中保护红外灯的安全
在清洗晶圆时，我们通常会接触到具有挥发性的化学物质，这些物质往往还是易燃的。如果再把高强度的红外灯加入其中，那就很容易引发灾难性后果。没人希望在生产过程中发生爆炸。
为避免这种情况，我们不再使用开放式设计的红外灯，而是将所有部件都封装起来。
防止火花产生
想象一下：哪怕是一粒微小的火花，或者高温表面接触到溶剂蒸汽，都可能引发爆炸。这真是可怕的情景。
因此，我们会用高纯度的石英材料来包裹红外灯，并用能够抵抗化学物质的密封件来固定两端。这样可以形成一道屏障，将加热元件与周围的空气隔开。
我们还会确保灯壳是气密性的。这样，即便腔室内有化学物质泄漏，那些蒸汽也无法进入灯壳或接触到电气端子。这样就能有效防止危险发生。
选择合适的材料
我们选择短波红外光源。因为它们能够将能量直接传递到晶圆表面，而不会浪费时间去加热周围的空气或灯壳本身。这样一来，设备的外壳温度就能保持较低水平。
另外，千万不要偷工减料。劣质的密封件容易损坏并导致泄漏，那样就失去了密封效果。我们使用氟聚合物制成的密封件，因为它们在面对腐蚀性环境时仍然能保持完好状态。
折衷方案
不过，这样做也有一些弊端。因为有了保护套，热量传递效率会降低一些。虽然这不是不可接受的问题，但你需要调整电源设置或增加加热时间来弥补这一损失。
还有一点：请检查冷却风扇是否正常工作。如果冷却不良，热量就会在灯壳内积聚，从而导致灯丝更快损坏。