红外发射器的陶瓷端盖
为什么那些小型的陶瓷端盖如此重要? 让我们来谈谈红外发射器上的陶瓷端盖。乍一看,它们似乎只是简单的插头而已。但实际上,它们才是防止钨丝因过高的电流而烧毁的关键所在。 当系统需要处理高功率电流时,就必须确保绝对的绝缘性。如果电流泄漏,就会导致短路,进而损坏设备。没人希望出现这种情况。
我们不会只进行...
卤素红外发射器用于晶圆干燥
在生产车间,单个水迹足以毁掉一片晶圆。标准干燥会留下温度梯度,而这些梯度会捕获水分。这意味着光刻胶的附着力会下降,产量也会受到影响。我们开发了卤素红外发射器,以消除这种变异性。
实际重要的细节 该发射器依赖短波卤素石英灯,提供快速的直视红外线。在加热区域内,我们保持温度均匀性在±0.1°C以内,因...
近红外 NIR 发射灯泡
在晶圆厂车间,光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移就足以导致大量报废。你需要加热精确达到工艺卡要求的位置——每一次运行都如此。
关键技术指标
我们的NIR发射灯泡输出短波能量,响应迅速且光谱稳定,因此温度转换快速且可重复。在整个烘烤区,晶圆级均匀度维持在±0.1°C——这种控制水平能保护光刻的关键...