晶圆加工设备用温度传感器

防止高负载晶圆处理设备出现灾难性故障 有没有过这样的经历：一盏灯损坏后，整个生产批次就面临风险？在高负载的晶圆处理过程中，灯管损坏不仅会毁掉相关组件，还会让杂质进入处理舱内，从而导致整批晶圆报废。 我们设计的红外线灯系统就是为了在问题发生之前就将其制止。这样，设备就能持续运转，晶圆也能保持清洁状态...