화학물질이 있는 곳에서 IR 램프를 안전하게 사용하는 방법
웨이퍼를 세척할 때는 보통 휘발성이 높고, 말 그대로 인화성이 강한 화학물질들을 다루게 됩니다. 여기에 고강도의 IR 램프까지 추가된다면, 재앙이 발생할 수 있습니다. 누구도 생산 과정 중에 화재가 날 것을 원하지 않습니다.
이런 상황을 막기 위해 우리는 열원과 웨이퍼 사이에 물질을 삽입하여 분리시키는 방식을 사용합니다.
스파크를 막는 방법
생각해보세요. 작은 스파크나 뜨거운 표면이 용매 증기와 접촉하면 폭발이 일어날 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 IR 램프를 고순도의 석영 소재로 감싸고, 화학물질에 견딜 수 있는 가스켓으로 양쪽 끝을 단단히 고정시킵니다. 이렇게 하면 가열 요소와 주변 공기 사이에 단단한 장벽이 형성됩니다.
또한, 함체가 완전히 밀폐되도록 합니다. 그렇게 하면 장치 내부에 화학물질이 새어 들어와서도 전기 단자에 닿지 못합니다. 이렇게 해서 위험을 차단할 수 있습니다.
적절한 부품 선택
우리는 단파장 IR 방출기를 사용합니다. 왜냐하면 이러한 방출기는 에너지를 직접 웨이퍼 표면에 전달하기 때문입니다. 주변 공기나 함체 자체를 가열시키는 데 시간이 낭비되지 않으므로, 장치의 외부 온도도 낮아집니다.
그리고 반드시 신뢰성 있는 가스켓을 사용해야 합니다. 저렴한 가스켓은 시간이 지나면서 손상되어 누수가 발생할 수 있습니다. 우리는 화학물질에도 견딜 수 있는 플루오로폴리머 기반의 가스켓을 사용합니다.
단점들
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 램프를 보호용 소재로 감싸면, 열원과 웨이퍼 사이에 또 하나의 장벽이 생깁니다. 그 결과 열 전달 효율이 약간 떨어집니다. 이건 치명적인 문제는 아니지만, 전력 설정을 조정하거나 조금 더 오랫동안 작동시켜야 합니다.
또한, 냉각 팬도 꼭 확인해야 합니다. 냉각 팬이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 만약 열이 축적된다면, 필라멘트가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 수 있습니다.