오존이 없는 적외선 램프

파편을 막아라: 오존이 없는 IR 램프로 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 고강도 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 “기술적 문제”가 아닙니다. 그건 진짜 재앙입니다. 석영관에 금이 가면 유리 조각과 화학물질들이 실리콘 위로 쏟아져 내립니다. 그러면 전체 생산된...