웨이퍼를 가열할 때는 열이 필요하지만, 그 열을 정확하게 조절해야 합니다. 하지만 단순히 에너지를 웨이퍼에 직접 가하는 것만으로는 부족합니다. 특히 깨끗하고 친환경적인 공정을 원한다면 더욱 그렇습니다. 그래서 우리는 고반사율의 IR 반사기와 함께 사용되는 단파 램프를...

웨이퍼 처리 과정에서 램프가 고장 나는 것에 대해 더 이상 걱정할 필요가 없습니다. 고압 환경에서 램프가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 생산이 중단되는 것만이 문제가 아닙니다. 만약 적외선 램프가 웨이퍼 위에서 파손된다면, 유리 조각들과 화학물질들이 사방에...