인터포저 가열용 적외선 램프

리소그래피 공정에서는, 인터포저를 가열할 때 0.1°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 사진감광제가 낭비될 수 있습니다. 더 많은 에너지를 사용하는 것이 해결책이 아닙니다. 필요한 것은 제어 가능하고 안정적인 열이죠. 내부 구조...